张立超

    (西安核设备有限公司，陕西 西安 710021 )

    流化反应器是我公司为某单位多晶硅冷氢化技术设计和制造的核心设备。它以多晶硅生产过程的副产物四氯化硅作原料，由反应器底部向上通过气体分布器与硅粉进行连续热分解反应，生成三氯氢硅。得到的三氯氢硅进入多晶硅系统生产多晶硅，而未转化的四氯化硅继续返回系统再次循环转化，实现了多晶硅生产的闭环化，同时将四氯化硅对环境的污染降到最低。主要参数见表1，结构见图1。

    图1 设备结构Fig.1 Structure of FBR

    表1 主要技术参数Tab.1 Primal design parameters

    1 材料选择

    该生产方法需要高温环境，介质具有极强的腐蚀性。一般的不锈钢材料既不能满足耐腐蚀要求也不能保证高温强度。反应器物料为氢气、氯硅烷和硅粉组成的混合介质，特性为易爆、中度危害，属于氯离子应力腐蚀环境。镍基合金在强腐蚀性介质中比不锈钢具有更好耐腐蚀性，比耐热钢具有更好抗高温氧化性能和高温强度。同时对高温下氯离子应力腐蚀开裂和σ相的析出造成的合金变脆具有良好的抵抗力，且在高温长期使用工况下具有较高的机械稳定性。根据该设备使用工况以及压力高、容积大的 特点，经过对可使用的镍基合金的对比，选用高温耐蚀高强度的镍合金INCOLOY 800H ......