王宾，刘毅，左芳，陈莉莉，杨云霞，郭倩，温锦荣，门靖

    (1.三星(中国)半导体有限公司，陕西 西安 710119；2.西安万隆制药股份有限公司，陕西 西安 710119；3.西安市碑林区新东方培训中心，陕西 西安 710068；4.陕西大河药业有限责任公司，陕西 西安 710200；5.陕西省药品和疫苗检查中心咸阳分中心，陕西 咸阳 712000)

    目前，工业领域中金属元素检测技术主要包括原子吸收光谱法(AAS)、原子荧光光谱法(AFS)、电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)四大类[1-3]。AAS 虽选择性强、灵敏度高，但是适用性不高，测定不同元素必须更换光源灯，且样品前处理麻烦。AFS 具有较低的检出限、灵敏度高，但仍存在荧光淬灭效应、散射光的干扰等问题。AAS 和AFS 均不能进行多元素的同时测定。ICP-OES 可进行多元素的同时测定，应用范围较AAS、AFS 更宽，但检出限不能满足部分元素的要求。ICP-MS 是一种基于ICP-OES 和质谱技术(MS)的综合性分析检测技术，具有高效、稳定、受化学干扰小等使用特点，在工业领域中金属元素的分析检测方面具有强大的应用优势[4-5]。

    近年来，相关工作者凭借ICP-MS 分析技术已经在药品研发、能源化工、工程材料、生物工程、食品残留检测、环境科学等众多领域获得了广泛应用。随着广大科研人员的深入研究及仪器检测的快速发展，ICP-MS 技术已经成为分析检测领域的研究热点[6]。

    本文在查阅总结文献的基础上，发现ICP-MS 在合金、半导体、矿石、水资源、食品、日化品、以及药品等工业金属元素含量检测中发挥着愈来愈多的重要性。因此，本文总结报道了ICP-MS 较为新颖的应用研究实例，为金属元素含量的检测方法开发与应用提供参 考。

    1 ICP-MS 检测技术介绍

    1.1 工作原理

    ICP-MS 是以电感耦合等离子体作为离子源，对质谱进行检测的多元素分析检测技术。测试样品进行ICP-MS 分析时一般主要经过四个步骤：①测试样品通常在水中溶解，形成水溶液的气溶胶形式，借助辅助气体氩气形成强气流，进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区；②在高温电感耦合等离子体通道中使样品去溶剂化、汽化解离和电离；③等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，通过碰撞池进一步不断解离为碎片离子；④离子在加速电压作用下，经采样锥和分离锥，被加速、聚焦后进入质谱仪，不同质荷比离子选择性地通过四级质量分析器 ......